北京快3东北大学巴德纯教授研发多种干式真空

日期:2020-10-19 10:57

  干式爪型真空泵的研究成功让巴德纯体会到了科研的快乐,也感受到了应用的局限。受当时加工条件和适用工艺的影响,爪型干泵的造价比较昂贵,推广和使用受到了限制,并没有广泛的应用起来。面对困难,巴德纯开始了更深入的研究,并适时开展了小型干式真空泵涡旋真空泵的研究。由于主要部件加工难度大,密封件要求高等原因,干式涡旋线年才研制成功。

  “科研需要判断,认准的事情必须坚持。”在巴德纯教授心中,“干式真空泵课题是一项大有前途的科学研究与技术前沿相结合的工作,我会一直坚持下去。”

  干式涡旋真空泵的研制成功,获得了国家科技主管部门的认可。2004年9月,由于巴德纯教授在国内开创性地进行干式真空泵的理论研究研发,荣获中国真空学会科技成就奖,这是国内真空行业的最高学术奖项。2009年,巴德纯教授以高票当选为中国线年,巴德纯先后获得了国家“863计划”、“十一五”国家科技重大专项、科技部国家仪器重大专项等国家和省部级课题的资助。有了充足的资金,巴德纯带着一群青年教师和博士、硕士开始了更深入的研究。

  巴德纯教授带领课题组成员从稀薄气体输送原理、多物理场耦合方法、运转态环境模拟技术和工程实际应用等四个视角进行了二十年系统深入的自主研发和技术创新,建立和发展了面向干泵类产品的多维度、运转态集成设计的新方法,搭建了干泵理论分析设计平台,解决了长期困扰国产干泵的技术瓶颈。

  自2001年起,巴德纯教授选择与中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司合作,希望能够强强联合,打造出具有国际水平的干式真空泵。

  刘坤教授从硕士到博士一直跟随巴德纯教授进行干式真空泵型线模型和结构优化的研究。型线是真空泵转子加工的关键,要结合理论型线的设计,并进行结构、热、动力等多物理场的耦合分析,需要在计算机上进行反复模拟推演,才能找到准确的参数。由于运算量较大,而且当时计算速度又较慢,刘坤等课题组成员经常在教师办公室一夜一夜地守着机器调制程序和观察数据。累了,大家就轮流休息一会儿,精神点儿就继续战斗。最长的一次,足足进行了一个月的运算才获得了预想的参数。

  课题组岳向吉老师负责计算流场,这是真空泵理论研究的另一个关键环节。泵容积变化,模式也要适当变化,建模难度很大。一个有效数据连续计算十几天,对岳向吉来说已经是家常便饭。2013年,流场研究的冲刺阶段,岳向吉和团队成员一起进行建模计算。为了保证数据的准确,第一周得出的数据全部弃用,又反复做了几遍测试,才获得准确的数据。“干科研的,就要有一点牺牲精神。”岳向吉说。

  实验室模拟成功只是万里长征走完了第一步。要想做出真正能够在生产实践中应用的产品,还必须将理论付诸实践,需要在合作工厂根据理论模型进行加工制造和装配测试工作。测试公司地处浑南,公共交通很不发达。每次从学校到生产车间,都要转两趟车,有时一等就是半个小时,但不管是炎炎盛夏,还是寒冬腊月,课题组成员都始终坚持着,并最终完成了干式线年起,课题组研制出的干式真空泵开始在北方微电子等知名半导体装备企业进行工艺测试,经过反复多次的测试,最终取得成功。

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